ویکیوم کاربرائزنگ ویکیوم میں ورک پیس کو گرم کرنا ہے۔جب یہ نازک مقام سے اوپر درجہ حرارت تک پہنچ جاتا ہے، تو یہ ایک مدت تک رہے گا، آکسائیڈ فلم کو ڈیگاس کرے گا اور ہٹا دے گا، اور پھر کاربرائزنگ اور بازی کے لیے پیوریفائیڈ کاربرائزنگ گیس میں گزر جائے گا۔ویکیوم کاربرائزنگ کا کاربرائزنگ درجہ حرارت زیادہ ہے، 1030 ℃ تک، اور کاربرائزنگ کی رفتار تیز ہے۔کاربرائزڈ حصوں کی سطح کی سرگرمی کو ڈیگاسنگ اور ڈی آکسائڈائز کرنے سے بہتر بنایا جاتا ہے۔بعد میں پھیلنے کی رفتار بہت زیادہ ہے۔کاربرائزنگ اور پھیلاؤ بار بار اور باری باری اس وقت تک کیا جاتا ہے جب تک کہ سطح کا مطلوبہ ارتکاز اور گہرائی نہ پہنچ جائے۔
ویکیوم کاربرائزنگ گہرائی اور سطح کے ارتکاز کو کنٹرول کیا جا سکتا ہے۔یہ دھاتی حصوں کی سطح کی پرت کی میٹالرجیکل خصوصیات کو تبدیل کر سکتا ہے، اور اس کی موثر کاربرائزنگ گہرائی دیگر طریقوں کی اصل کاربرائزنگ گہرائی سے زیادہ گہری ہے۔